一、干燥加熱用熱源
氣瓶在抽真空之前，須先經加熱干燥再進行抽真空，或邊干燥邊抽真空。干燥的熱源大致有三種，即煤氣、電以及蒸汽，無論哪種熱源加熱，保溫箱的工作溫度須保持110℃~120℃為宜。
1、煤氣紅外線加熱：利用煤氣熱能通過紅外線熱能輻射，將氣瓶加熱到工作需要溫度。
2、電加熱：保溫箱內安裝電加熱管，將氣瓶烘烤至工作需要溫度。
3、蒸汽加熱：利用壓力飽和蒸汽（0.3Mpa~0.4Mpa）通過散熱器（氣片或散熱管）形式，通過蒸汽傳遞，將氣瓶加熱到工作需要溫度。
上述三種熱源加熱方法，只要能保證工作所需溫度，就能得到干燥的同樣效果。至于經濟能耗、操作條件及設備工藝流程等方面，要根據各廠具體情況而選擇。
二、干燥的目的和方式
1、氣瓶干燥的目的：是將氣瓶送到保溫箱里通過熱源進行加熱，保溫箱內保持110℃~120℃，使瓶內水分加熱蒸發，再經真空泵抽出瓶內水蒸汽，從而達到氣瓶充裝前的真空度。
2、氣瓶干燥的方式：
a、全封閉加熱干燥：將氣瓶送到保溫箱里，氣瓶全部進行加熱；箱內保持工作需要溫度，進行加熱和抽真空處理，特別是容積較小、純度要求較高的氣瓶最好使用全封閉加熱。
b、半封閉加熱干燥：將氣瓶送到保溫箱里，1/4露出箱外，3/4留在箱里進行加熱（瓶立、臥均可）瓶閥接入真空管進行抽真空處理，保溫箱溫度保持在110℃~120℃。對于要求在4N以上純度的氣瓶用半封閉加熱。
3、氣瓶干燥抽真空的操作步驟：
a、將瓶閥卸掉，垂直倒立恐怕12h~24h，瓶內的積水及雜質盡量排除干凈。
b、將瓶閥擰好，卸掉橡膠圈，送到保溫箱一次擺好，瓶閥接入抽真空管擰緊，箱門、箱蓋封好。
c、緩慢通入熱源，控制保溫箱里的溫度保持在110℃~120℃，然后，啟動真空泵（按真空泵操作規程進行操作）。
d、真空泵正常運行后，用火花塞檢測儀測試玻璃管變色情況，根據真空泵運行時間及玻璃管變色情況，可判斷瓶內抽真空度情況。玻璃管內的顏色由紫紅色、粉紅色、淺紅色、直到合格時的乳白色。
e、一般情況下，真空泵運行2h，就能達到真空度。這時，停止供熱源，再繼續抽真空1h~2h（保溫箱門打開，氣瓶自然降溫至環境溫度），停止抽真空。
f、氣瓶停止抽真空降溫后，立即往瓶內充回填氣0.2Mpa，關閉瓶閥。
g、處理后的氣瓶充氣后，經化驗，含水分不超過10ppm。如果真空泵效率高，可再加一臺擴散泵，處理好的氣瓶水分含量可達到2ppm~3ppm。
4、氣瓶干燥抽真空工作中，發現的問題及處理：
a、新瓶或水壓試驗后的氣瓶，干燥前須控水，控水前好先卸掉瓶閥垂直倒立12h~24h，這種方法效果很好。如果僅打開瓶閥而不卸下，因瓶內有死角積存水滴，將影響抽真空效果。試驗證明，打開瓶閥要比卸下瓶閥的方法多含水分5ppm~10ppm。
b、氣瓶加熱前，將橡膠圈卸掉，防止干燥時，橡膠圈受高溫烘烤而造成老化變形，從而縮短其使用壽命。
c、氣瓶送入保溫箱加熱后，應啟動真空泵，邊加熱邊抽真空。若不運行真空泵，可打開瓶閥，不接真空管，使瓶內水蒸汽自然排放。
d、操作時應主要：在真空泵啟動正常后，須打開入口閥；停泵前，先關閉入口閥再停泵，防止真空泵噴油或往管內串油。
e、真空泵排氣管要接到室外，避免泵噴油或油氣（煙）排放室內，造成污染。
f、抽真空系統不許泄露，要用干燥氣體（0.2Mpa~0.3Mpa無油脂氣體）進行氣密性試壓，泄漏率不超過5%即為合格。不要用負壓做氣密性試壓。
g、當氣瓶加熱、真空泵還未投入運行時，通常總管壓力還會上升。這時因為。加熱前，瓶內充滿常溫氣體和少量水分，經加熱后，溫度升至120℃，瓶內氣體溫度隨之升高，少量積水蒸發為水蒸氣，促使總管壓力上升。
h、氣瓶干燥溫度保持在110℃~120℃范圍內，不易過高或過低。否則，低于100℃，瓶內水分不易蒸發；高于120℃，易使瓶閥聚四氟乙烯或膠圈老化而影響密封性能。
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1.特種氣體 (Specialty gases) ：指那些在特定領域中應用的, 對氣體有要求的純氣、高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體門類繁多, 通常可區分為電子氣體、標準氣、環保氣、焊接氣等, 廣泛用于電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環境監測、醫學研究及診斷、食品保鮮等領域。
氣體產品大至可以分為兩大類別，即一般工業氣體和特種氣體。一般工業氣體是指經過空氣分離設備制造的普通級的氧氣和氮氣、經過焦爐氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。工業氣體一般要求生產量大，但對氣體的純度要求不高。特種氣體則是用途有別于一般氣體的氣體。它在純度、品種、性能等方面都是嚴格按照規格進行生產和使用的。特種氣體因種類 很多，又可以分為三類，即高純氣體、標準氣體和電子特種氣體。
1、高純氣體
高純氣體通常指利用現代提純技術能制取的某個純度等級的氣體，純度等級可以不同。
2、一般混合氣體
由兩種以上氣體混臺配制而成的氣體，而且主要標出大致濃度，即可滿足使用要求，這種氣體稱為一般混合氣體。
對氣體分析儀用氣體，如含氫10%，其余是氬的混合氣以及舍甲烷5%或10%，其余是氬的混合氣，被用作氣相色譜儀的載氣；含氫40%，其余是氮的混合氣被用作氫火焰總烴檢鍘儀的燃料氣。另外，含氧20%～60% ，其余是氬的混合氣被用來發生化學熒光分析儀用的臭氧。
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一、高純氣體供應系統目前主要有三種形式
1. 現場制氣，管道輸送供氣；
2.外購液態氣體，氣化后管道輸送供氣；
3.外購氣體鋼瓶，用氣體鋼瓶(組)供氣。某個工程，采用何種方式 ，主要根據工廠的生產規模及氣體耗量、用氣質量，以及工廠所在城市或區域的氣體市場供應等因素經過技術經濟比較后確定。
高純氣體管道安全閥
安全閥是啟閉件受外力作用下處于常閉狀態，當設備或管道內的介質壓力升高超過規定值時，通過向系統外排放介質來防止管道或設備內介質壓力超過規定數值的特殊閥門。安全閥屬于自動閥類，主要用于鍋爐、壓力容器和管道上，控制壓力不超過規定值，對人身安全和設備運行起重要保護作用，注安全閥必須經過壓力試驗才能使用。
高純氣體管道閥門連接
高純氣體管道與閥門等附件連接應采用密封不易泄漏的專用接頭予以連接，常用的接頭方式有兩種：分別為VCR(Vacuum Coupling Retainer)和SWG(Swaglok)，VCR采用優良的金屬墊，利用縱向壓力壓緊，因此泄漏率極低，約為10～9A cc/s，且耐壓較高，常用于氣體雜質含量1.0×10-9級的高純氣輸送系統，而SWG則不如VCR，耐壓較低，基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。
高純氣體管路連接
法蘭連接
管道與設備、管道與閥門的連接，在一些要求不高的氣體管道可以采用法蘭連接，墊片使用軟金屬墊片或聚四氟乙烯墊片。 由于石棉會產生粉塵而橡膠的透氣性大和吸水性強而且容易老化， 所以不采用石棉墊片或橡膠整片。
氣體管路連接
表面密封連接件連接
法蘭連接時氣體和密封材料接 觸面大 ，表面磨損也較大， 所以對于高純氣體管道不采用法蘭連接。大多采用表面密封連接件，絕大多數采用 V CR 密封件形式。V C R 連接方式氣體不接觸 密封材料， 流通表面幾乎沒有磨損 ，它是縱 向壓力進行壓緊，選用質量優 良的金屬墊 ，便可以做到很好的密封不泄露、污染少 ，因此得到廣泛采用。 選用時做到連接件材料與主管材料一致 ，內表面光潔等級一致。
螺紋連接
螺紋連接對大宗氣體，且純度要求不高的氣體管道，當采用鍍鋅鋼管時 ，采用螺紋連接。 螺紋連接的密封材 料采用聚四氟乙烯密封帶 ，不得采用傳統的油麻。密封帶纏繞要得當。不能纏繞的太厚、過長，纏繞太厚或纏繞過多超出管螺紋端頭坡 口的話，在螺紋旋緊時，密封帶會被絲咬切下，落人管道內形成較大的污染物，因此端口螺紋從坡口始，留出2- 3 個凸牙不纏繞密封帶是必要的。
焊接連接管道焊接連接，可以采用對接焊 、承插焊或套管式接。
對接焊
對于要求純度很高的管道，采用內壁無瘢痕的對接焊 。高純氬氣保護焊。
承插焊
對于純度要求相對低一些的管道可以采用承插焊或套管焊，承插焊由于氣體殘留空間比較大 。
套管焊接
吹凈比較困難 ，現在比較多的采用套管焊接。 套管焊接應使套管和主管具有同等材料和內表面等級， 結合部的間隙不能過大，重疊部分也不宜過長，較為合適的重疊長度在 5m m 內。 套管內管加工時，應使主管過盈 ，這樣主管被套管緊緊包裹后施焊，焊渣不會落人管內。而且氣體死空間也小，容易吹凈 。
高純氣體供應系統
使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個半自動調節閥來控制。所有氣體管路都是高質量的、完全退火、無縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈，使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調節閥門、壓力表來指示氣體壓力。
]]>氣體產品種類繁多，大致可以分為一般工業氣體和特種氣體兩大類。一般工業氣體產銷量大，但對純度要求不高。特種氣體產銷量雖小，但根據不同的用途，對不同特種氣體的純度或組成、有害雜質允許的最高含量、產品的包裝貯運等都有極其嚴格的要求，屬于高技術，高附加值產品。通常，可以將特種氣體分為三類，即高純或超高純氣體、標準校正氣體和具有特定組成的混合氣體。氣體產品作為現代工業重要的基礎原料，應用范圍十分廣泛，在冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫藥醫療等部門，均使用大量的常用氣體或特種氣體。
因為氣體產品的應用覆蓋面大，一般將氣體的生產和供應與供電、供水一樣，作為工業投資環境的基礎設施，被視為國民經濟“命脈”而列為公用事業行業。
隨著我國國民經濟的快速發展，氣體產品應用范圍不斷擴大，用量不斷增加，新產品不斷推出，純度不斷提高，市場需求不斷擴大，產值增長速度遠遠超過同期國民經濟總值的增長速度，達到年12%的增長率。全國氣體產品市場年銷售額約為 400億元。雖然氣體工業總產值在國民經濟生產總值中所占的比例不算大，但它對當前飛速發展的微電子、航空航天、生物工程、新型材料、精密冶金、環境科學等高新技術部門有重要影響，是這些部門不可缺少的原材料氣或工藝氣。正是由于各種新興工業部門和現代科學技術的需要和推動，氣體工業產品才在品種，質量和數量等方面取得令人矚目的飛躍發展。
]]>在過去的三年中，對工業氣體流量計的檢定要求大大增加。主要體現在以下三個方面：
1、用天然氣進行的高壓氣體流量計的檢定不僅僅限于渦輪氣體流量計，而且還有孔板式、文丘里管式及渦流擋板式流量計。
2、對小型流量計的低氣體流量(小于3.5m3/h)檢定，諸如熱質量流量計、質量流量控制器、醫療衛生設備用的可變面積儀表和檢測器。
3、除用空氣或天然氣之外的氣體的檢定及在不同操作條件(不同壓力或不同氣體)下的檢定濕度傳感器探頭,不銹鋼電熱管,PT100傳感器,流體電磁閥,鑄鋁加熱器,加熱圈。
毫無疑問，在操作條件下進行校準是校準的最佳方式，然而，并不是總能用理想的流體進行校準。對于氣體流量計，大多數檢測裝置都采用空氣進行校準，有時有壓力，多數情況下是在常壓條件下檢定。
本文所述的高壓檢測裝置是在有壓力條件下采用天然氣進行檢定的，這對于那些將流量計用于天然氣計量站的公司具有很大的優勢。對于采用乙烯作為檢定流體的氣體流量計的校準，可采用DSM和Shell的檢測裝置，由荷蘭計量院對這些校準進行鑒定。
在Dordrecht的低流量檢測裝置上，可采用各種各樣氣體進行校準。對測量蒸汽、氮氣、二氧化碳、氫氣等的氣體流量計的校準要求在不斷增加。由于采用這些氣體進行大規模校準的設施并不多，因此采用另一種流體進行校準幾乎是唯一的選擇，且在許多情況下是一種合理的、可替代的選擇。如果流動條件可以估算出來，那么就可以在與操作條件不同的條件下對流量計進行校準，估算流動條件所采用的參數通常為關于該流量計入口直徑的雷諾數。
首先，將操作條件范圍轉換為雷諾數范圍。
其次，所選定的校準設備要符合所規定的雷諾數范圍。
然后，在不同的壓力條件下或采用不同的氣體進行校準。根據雷諾數繪制氣體流量計的誤差或流出系數的曲線圖。然后檢查該流量計的曲線是否與雷諾數的重疊范圍相一致。如果一致，則采用內插法從校準曲線推知操作條件的誤差曲線。如果曲線圖不吻合，就必須斷定出是被檢測流量計出故障還是該雷諾數不是被檢測流量計適當的檢定系數。
該方法通常稱之為雷諾內插法，可能適用于諸如渦輪流量計、孔板及噴嘴之類的流量計，這些流量計在流量的雷諾數和流量計誤差或流出系數之間已形成了相關性。在一定精度等級范圍內，標準差壓流量計的雷諾特性是眾所周知的。
同樣，某些種類的渦輪氣體流量計的特性也是已知的。在某些情況下，有必要在進行最終校準之前先進行幾次測試以鑒定該流量計的運行情況是否符合雷諾定標系數。
將來，還需要做一些工作來鑒定渦流擋板流量計的性能，并確定高壓氣體情況下超聲波流量計和互補式流量計的性能。考慮到壓力范圍不同及所采用的氣體類型的差異，作業線路條件可以不同于現有的校準條件。對于這些情況，可采用所謂的雷諾插值方法。
這種方法可適用于流量雷諾數和儀表誤差或排放系數之間已建立了相關性的流量計。
]]>在不銹鋼熔煉制材過程中，每噸可吸收大約200g的氣體。不銹鋼材加工完畢，不僅其表面粘有各種污染物，而且在其金屬晶格內也吸留有定量的氣體。當管路中有氣流通過時，金屬所吸留的這部分氣體會重新進入氣流中，污染純凈氣體。當管內氣流為不連續流動時，管材對所通過的氣體形成壓力下吸附，氣流停止通過時，管材所吸附的氣體又形成降壓解析，而解析的氣體同樣作為雜質進入管內純凈氣體中。同時，吸附、解析周而復始，使得管材內表面金屬也會產生的粉末，這種金屬粉塵粒子同樣污染管內純凈的氣體。管材的這一特性至關重要，為了確保輸送的氣體的純凈度，不僅要求管材內表面有一個光滑度，而且，應當具有很高的特性。
腐蝕性能較強的氣體時，須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則，管材將會由于腐蝕而在內表面產生腐蝕斑，嚴重時會出現大片金屬剝離甚至穿孔，從而污染輸配的純凈氣體。
大流量的高純、高潔凈度氣體輸配管道的連接，原則上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊時組織不發生變化。含碳過高的材料在焊接時，受焊接部位的透氣，使得管內外氣體的相互滲透，破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，導致我們的各項努力全部失去意義。
綜上所述，對于高純氣體及特種氣體輸送管道，必需采用一種特種處理的高純不銹鋼管，至使高純管道系統（包含管道、管件、閥門、VMB、VMP）在高純氣體配送中占有至關重要的使命。
氣體產品作為現代工業重要的基礎原料，應用范圍十分廣泛，在冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫藥醫療等部門，均使用大量的常用氣體或特種氣體。氣體的應用，特別對這些領域的高新技術有重要的影響，是其不可缺少的原料氣或工藝氣。也只有各種新興工業部門和現代科學技術的需要和推動，氣體工業產品才能在品種、質量和數量等方面得到飛躍發展。
氣體在微電子、半導體行業中應用
氣體的使用在半導體制程中一直扮演著重要的角色，特別是半導體制程目前已被廣泛的應用于各項產業，凡舉傳統的ULSI、TFT-LCD到現在的微機電(MEMS)產業，皆以所謂的半導體制程為產品的制造流程，其中的制程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當多的氣體，而氣體的純度則對組件性能、產品良率有著決定性的影響，氣體供應的則關乎人員的健康與工廠運作。
電子行業中常見氣體的分類：
普通氣體，也稱大宗氣體（Bulk gas ）：氫氣（H2）、氮氣（N2）、氧氣（O2）、氬氣（A2）等
特種氣體（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2HF HBR SF6……等等
特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等，一般常用的半導體氣體分類如下：
(一)、腐蝕性 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
(二)、可燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等
(三)、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3…等
(四)、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等
半導體氣體很多是對人體有害。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性，只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應，開始燃燒；還有AsH3的劇毒性，任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害，也就是因為這些顯而易見的危險，所以對于系統設計性的要求就特別高。
a、新瓶或水壓試驗后的氣瓶，干燥前須控水，控水前先卸掉瓶閥垂直倒立12h~24h，這種方法效果很好。如果僅打開瓶閥而不卸下，因瓶內有死角積存水滴，將影響抽真空效果。試驗證明，打開瓶閥要比卸下瓶閥的方法多含水分5ppm~10ppm。
b、氣瓶加熱前，將橡膠圈卸掉，防止干燥時，橡膠圈受高溫烘烤而造成老化變形，從而縮短其使用壽命。
c、氣瓶送入保溫箱加熱后，應啟動真空泵，邊加熱邊抽真空。若不運行真空泵，可打開瓶閥，不接真空管，使瓶內水蒸汽自然排放。
d、操作時應主要：在真空泵啟動正常后，須打開入口閥；停泵前，先關閉入口閥再停泵，防止真空泵噴油或往管內串油。
e、真空泵排氣管要接到室外，避免泵噴油或油氣（煙）排放室內，造成污染。
f、抽真空系統不許泄露，要用干燥氣體（0.2Mpa~0.3Mpa無油脂氣體）進行氣密性試壓，泄漏率不超過5%即為合格。不要用負壓做氣密性試壓。
g、當氣瓶加熱、真空泵還未投入運行時，通常總管壓力還會上升。這時因為。加熱前，瓶內充滿常溫氣體和少量水分，經加熱后，溫度升至120℃，瓶內氣體溫度隨之升高，少量積水蒸發為水蒸氣，促使總管壓力上升。
h、氣瓶干燥溫度保持在110℃~120℃范圍內，不易過高或過低。否則，低于100℃，瓶內水分不易蒸發；高于120℃，易使瓶閥聚四氟乙烯或膠圈老化而影響密封性能。
i、氣瓶不能在高溫時，充回填氣或關瓶閥，以防氣瓶降溫后壓力下降，若在高溫下關瓶閥而損壞閥墊。
氣瓶在抽真空之前，須先經加熱干燥再進行抽真空，或邊干燥邊抽真空。干燥的熱源大致有三種，即煤氣、電以及蒸汽，無論哪種熱源加熱，保溫箱的工作溫度須保持110℃~120℃為宜。
1、煤氣紅外線加熱：利用煤氣熱能通過紅外線熱能輻射，將氣瓶加熱到工作需要溫度。
2、電加熱：保溫箱內安裝電加熱管，將氣瓶烘烤至工作需要溫度。
3、蒸汽加熱：利用壓力飽和蒸汽（0.3Mpa~0.4Mpa）通過散熱器（氣片或散熱管）形式，通過蒸汽傳遞，將氣瓶加熱到工作需要溫度。
上述三種熱源加熱方法，只要能保證工作所需溫度，就能得到干燥的同樣效果。至于經濟能耗、操作條件及設備工藝流程等方面，要根據各廠具體情況而選擇。
二、干燥的目的和方式
1、氣瓶干燥的目的：是將氣瓶送到保溫箱里通過熱源進行加熱，保溫箱內保持110℃~120℃，使瓶內水分加熱蒸發，再經真空泵抽出瓶內水蒸汽，從而達到氣瓶充裝前的真空度。
2、氣瓶干燥的方式：
a、全封閉加熱干燥：將氣瓶送到保溫箱里，氣瓶全部進行加熱；箱內保持工作需要溫度，進行加熱和抽真空處理，特別是容積較小、純度要求較高的氣瓶使用全封閉加熱。
b、半封閉加熱干燥：將氣瓶送到保溫箱里，1/4露出箱外，3/4留在箱里進行加熱（瓶立、臥均可）瓶閥接入真空管進行抽真空處理，保溫箱溫度保持在110℃~120℃。對于要求在4N以上純度的氣瓶用半封閉加熱。
3、氣瓶干燥抽真空的操作步驟：
a、將瓶閥卸掉，垂直倒立恐怕12h~24h，瓶內的積水及雜質盡量排除干凈。
b、將瓶閥擰好，卸掉橡膠圈，送到保溫箱一次擺好，瓶閥接入抽真空管擰緊，箱門、箱蓋封好。
c、緩慢通入熱源，控制保溫箱里的溫度保持在110℃~120℃，然后，啟動真空泵（按真空泵操作規程進行操作）。
d、真空泵正常運行后，用火花塞檢測儀測試玻璃管變色情況，根據真空泵運行時間及玻璃管變色情況，可判斷瓶內抽真空度情況。玻璃管內的顏色由紫紅色、粉紅色、淺紅色、直到合格時的乳白色。
e、一般情況下，真空泵運行2h，就能達到真空度。這時，停止供熱源，再繼續抽真空1h~2h（保溫箱門打開，氣瓶自然降溫至環境溫度），停止抽真空。
f、氣瓶停止抽真空降溫后，立即往瓶內充回填氣0.2Mpa，關閉瓶閥。
g、處理后的氣瓶充氣后，經化驗，含水分不超過10ppm。如果真空泵效率高，可再加一臺擴散泵，處理好的氣瓶水分含量可達到2ppm~3ppm。
